在20世纪60年代至70年代，一些工业发达国家即开始状态监测和故障诊断技术的研究。
因受到当时工业技术水平的限制，加之电力设备暗藏性故障初期发展速度慢，征兆信号微弱，生产运行环境中又存在许多电磁干扰，能够监测的特征量与设备状态不完全吻合，可变因素和影响因素太多等原因，使状态监测和故障诊断技术的发展和应用受到阻碍。
到20世纪80年代至90年代，传感技术、计算机技术和光纤等高新技术的发展和应用，使电力设备的状态监测和故障诊断技术得到迅速发展。
加拿大、日本、德国、美国等陆续研制了油中溶解气体在线监测系统，变压器、柴油发电机和GIS等的局部放电、泄露电流的在线监测系统，这些技术得到了国际大电网会议的系统总结。
近年来，随着光电技术的发展，加拿大、美国等国家相继研制出不同类型的在线监测装置，更加促进了设备的状态监测和故障诊断技术的实施和有效发展。
早在20世纪60年代，我国已认识到柴油发电机设备状态监测和故障诊断技术的重要性，在70年代，就进行过一些带电试验和在线监测技术的研究和应用，但由于当时技术不完善，测量结果分散性大，加上操作复杂和误报等原因，使该技术没有得到大力推广。
随着大容量、高电压等级电气设备的迅速增加，一些设备的故障率偏高，使状态监测和故障诊断技术的开发更加迫切。
为发展状态监测和故障诊断技术，电力主管部门多次召开全国电力设备绝缘带电测试和故障诊断技术研讨会，研究如何发展和推广状态监测与诊断技术。
可以说，我国电气设备状态监测与故障诊断技术和国际上几乎处于相同水平。
